Delta-X 多功能X射線衍射儀/反射儀

能滿足科學研究所和技術開發中心不同材料體係的全方位測試需求。

產品簡介

Jordan Valley公司設計的這款Delta-X多功能X射線衍射設備，可靈活應用於材料科學研究、工藝開發、與生產質量控製等環境。Delta-X衍射儀可以在常規衍射模式、高分辨率衍射模式、X射線反射模式之間靈活切換，衍射儀的光源台和探測台的光學元件可以全自動化調控，並采用了水平式樣品台。

光學配置的切換完全在菜單式程序控製下由計算機完成，無需手動操作。自動化切換和準直不需要專門人員和操作設備，並確保每次切換都能達到合適的光學準直狀態 。

常規的樣品測量可以通過Delta-X衍射儀實現部分、乃至完全的自動化運行。自動化測量程序可以依客戶需求進行專門定製。也可采用完全的手動模式來操作衍射儀，以便發展新的測量方法，研究新材料體係。

數據分析或擬合可以作為測量程序的一部分，能夠實現完全自動化，也可根據需求來單獨進行數據分析。 如以半導體生產線為例，根據生產線的需求，可以將RADS和REFS擬合軟件以自動化模式運行，能夠允許設備在沒有用戶幹擾的情況下自動完成常規性的數據分析，並直接完成數據擬合和結果輸出。RADS和REFS也可以單獨安裝，以便進行更詳細的數據分析。

產品特點

·自動化進行樣品準直、測試、和數據分析

·客戶可以自行設定測量的自動化程度

·300 mm的歐拉環支架 (Eulerian Cradle) 設計，高精度的樣品定位和掃描

·300 mm的晶片水平式放置，且可以完整映射

·100° 的Chi 軸傾轉範圍、無限製範圍的 Ph i 軸旋轉空間， 可實現極圖和殘餘應力測試

·智能化的光學配置切換和準直。依測量需要，自動選擇光學配置並實施光學準直

·強大的工業級設備控製軟件和數據分析軟件

·高分辨率測角儀，以保證精密且準確的測量

·高強度的光源台設計和光學元件組合，實現快速測量

·多方麵廣泛的測試技術和測量參數

·由擁有超過30年的高分辨率X射線衍射經驗的專家設計、製造，具有全球客戶經驗。

產品優勢

1、 自動化控製的光學係統

Delta - X衍射儀的入射束包括多種標準的光學配置模式，使光學配置具有充分的靈活性，且易於操作。可以依據測量樣品的材料類型，選擇參考晶體。

2、樣品台

Delta - X衍射儀的歐拉（Eulerian）環支架設計允許放置單個或多個晶片或樣品，並提供多個轉動軸的大範圍、高再現性的精確移動控製。

·可放置直徑 300mm晶片或多個小尺寸晶片、樣品

·“邊緣至邊緣“全晶片測量（無邊緣測量失真現象）

·可選配特殊環境樣品台，如高溫、真空等。

3、探測台

·閃爍式高性能點探測器，顯著提高響應特性

·性能卓越的線探測器（選配件）

4、自動化機械手臂(Robot ) 選配件

可選配全自動化機械手臂，實現直徑≤300mm晶片的全自動化裝卸和測量。

5、係統控製和數據采集

Delta - X衍射儀可以在不同模式下工作，包括菜單式全自動化測量、各個軸的手動準直和掃描等。

·利用靈活、簡便的向導創建測量菜單

·自動產生分析報告，提供實時信息和警示

6、專業用戶功能

專業用戶可以全麵使用Delta - X衍射儀的更多專業功能。控製軟件允許用戶使用從完全自動操作到完全手動準直和測量等的所有操作模式。

·手動/自動化準直程序設置

·可實現任何方向的專業掃描模式

·功能強大的程序腳本

應用示例

·高分辨率X射線衍射和弛豫度(Relaxation)

材料：單晶襯底材料（如Si，GaAs，InP，GaN)和外延層材料，包括多層外延膜結構

參數：外延層厚度、組分、弛豫度、晶格應變、晶片均勻性、晶格失配、摻雜濃度、襯底斜切角、外延傾角。

·三軸X射線衍射和倒易空間Map

材料：單晶襯底材料（如Si，GaAs，InP，GaN)和外延層材料，包括多層外延膜結構

參數：外延層厚度、組分、弛豫度、晶格應變、晶片均勻性、晶格失配、摻雜濃度、襯底斜切角、外延傾角。

·高分辨X射線衍射(HRXRD) 數據示例

- GaN基多量子阱結構

- 矽襯底上生長III - V族材料

·X射線反射(XRR )

材料類型：薄膜

參數：薄膜厚度、密度、粗糙度

掃描方式：Omega - 2Theta掃描，Omega掃描，2Theta掃描

·X射線衍射(XRD)

材料：測量多晶材料、納米材料、多晶薄膜等。對於超薄層材料、納米級厚度的薄膜材料，可以使用掠入射衍射。

參數：相結構、織構、晶粒尺寸、顆粒尺寸、晶胞分析、結晶度分析、殘餘應力測定。

·多晶薄膜的X射線衍射(XRD)

材料：測量多晶材料、納米材料、多晶薄膜等。對於超薄層材料、納米級厚度的薄膜材料，可以使用掠入射衍射。

參數：相結構、晶格常數、晶粒尺寸

·多晶薄膜的掠入射X射線衍射(GI - XRD)

材料：測量多晶材料、納米材料、多晶薄膜等。對於超薄層材料、納米級厚度的薄膜材料，可以使用掠入射衍射。

參數：相結構、織構、結晶度

掃描模式： 2Theta掃描(GI - XRD)

·多晶薄膜的極圖：織構測定

材料：測量多晶材料、納米材料、多晶薄膜等。

參數：織構

掃描方式： Chi軸和Phi軸的聯合掃描

·薄膜的殘餘應力測定

材料：測量多晶材料、納米材料、多晶薄膜等。

參數：殘餘應力

掃描方式： 2Theta軸和Chi軸聯合掃描

·X射線衍射應用示例

- 超薄High - K材料

- 薄膜的殘餘應力測定

分析軟件

Jordan Valley分析軟件包已經擁有超過30年的使用經驗，並廣泛應用於薄膜材料結構特征的X射線表征。以原英國Bede Scientific公司的分析軟件包為基礎，Jordan Valley分析軟件在研究領域和工業生產領域都具有廣泛的適用性和優異性，並囊括了高分辨率X射線衍射（HRXRD ) 和X射線反射(XRR ) 自動化擬合軟件、通用分析軟件、映射圖繪製和分析軟件等。

-JV RADS：在工業生產領域是飽受好評與信任的軟件，廣泛用於單晶襯底上生長各種外延薄膜的HRXRD 數據分析。

-MDI JADE：擁有強大的XRD數據分析功能，包括衍射圖譜的閱讀、處理、分析，能夠準確進行相鑒定分析。

-JV REFS：用於分析X射線反射數據的軟件，軟件操作簡便、功能強大，廣泛應用在研發和生產領域。

-JV Contour：可繪製和展示2D或3D映射圖

-JV PeakSplit：提供了直接分析HRXRD和XRD數據的多種功能，對HRXRD或XRD測量數據做圖形化展示，並可擬合峰形特征。

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