微區X射線熒光光譜儀提供一種大麵積材料成份分布的無損高通量定量表征分析方法，材料基因分析可用於薄膜材料，塊體材料，以及各種梯度材料中的成份分析及定量分析。

材料基因分析技術是對大尺寸不規則、不均勻樣品、甚至微小包裹體進行高靈敏度、非破壞性的元素分析方法。

1.矩形的真空室設計，樣品無需製備，可直接放入艙內無損檢測；

2.優化的X射線光路，小光斑直徑降到20µm範圍內，且提供高的束流；

3.多種儀器配置：可以選擇增加了X射線管或探測器；

4.通過使用真空模式（低噪音泵）和SLEW窗口，獲得輕質元素的高靈敏度；

5.EasyLoad功能：方便樣本的裝入、取出，測量同時可以通過兩個影像係統查看樣品被測位置，自動聚焦autofocus，樣品台移動和其它操作完全由鼠標控製。