產品概述

反射膜厚儀是一種非接觸式、無損的、快速的光學薄膜厚度測量技術。

測量範圍: 1 nm - 1 mm

波長範圍: 200 nm -8000 nm

光斑尺寸:2um -3 um

標準配置中包含：

1. 主機(光譜儀，光源，電線)

2. 反射光纖

3. 樣品台及光纖適配器

4. TFCompanion軟件

5. 校準套裝

6. 測試樣品，200nm晶圓

廣泛的應用於各種工業生產及工藝監控中：

半導體晶圓，薄膜太陽能電池，液晶平板，觸摸屛，光學鍍膜，聚合物薄膜等

半導體製造：·光刻膠·氧化物·氮化物

光學鍍膜：·硬塗層·抗反射塗層·濾波片

生物醫學：·生物膜厚度·硝化纖維