原理
照明光束經半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表麵和參考鏡表麵。從兩個表麵反射的兩束光相互幹涉，在CCD相機感光麵會觀察到明暗相間的幹涉條紋。幹涉條紋的亮度取決於兩束光的光程差，根據白光幹涉條紋明暗度以及幹涉條紋出現的位置計算出被測樣品的相對高度，從而得到樣品表麵的三維尺寸信息。如下圖所示。
白光幹涉儀的優點
非接觸式測量，不損傷樣品；
測試效率高，幾秒鍾成像，自動分析結果；
高度方向分辨率高，在不同物鏡下均可達0.1nm，實現亞納米級的測量；
優異的重複性；
分析功能強大，簡便易用；
優異的擴展性。
白光幹涉儀的作用
可以進行膜厚測量，溝槽測量，翹曲分析，表麵粗糙度測量，表麵高度及盲孔測量，樣品表麵圖案尺寸測量等。廣泛應用於半導體，光學器件，太陽能電池，MEMS，生命科學，材料學等行業。
布魯克白光幹涉儀介紹
WYKO白光幹涉儀誕生於1982年，2010年加入布魯克，與布魯克強強聯合，經過40多年技術不斷發展及革新，布魯克白光幹涉儀已經逐步在行業中內有良好口碑。且：
3項 美國R&D 100 大獎
6項 Photonics Circle of Excellence Awards大獎
根據不同的應用場景及樣品情況，布魯克有以下等多個型號供用戶選擇：
ContourX-100 ContourX-200
ContourX-500 ContourX-1000
NPFLEX-1000 ContourSP
應用及效果
布魯克白光幹涉儀的應用及效果
表麵粗糙度測量
表麵高度測量
表麵高度及盲孔測量
溝槽自動分析
三維實時測量
表麵翹曲測量
軟件界麵分析
布魯克白光幹涉儀因其操作簡便，分辨率及重複性良好，軟件分析功能強大，且售後服務專業及時等優點，從而成為形貌測量工程師的選擇，並被廣泛運用於半導體，光學器件，太陽能，微電子，材料學等各個行業。
