1968年台階儀Dektak Ⅰ麵世以來，迄今已有50多年的發展曆程。通過整合技術，突破創新，Dektak係列台階儀已經來到了第十代，目前我們主要有兩種型號:桌麵式DektakXT（圖1），樣品兼容可到8寸；另外一款是集成了防震台一體化的落地式DektakXTL，它的兼容樣品可以達到12寸（圖2）。布魯克第十代Dektak 產品在過去五十年不斷的技術創新，得到眾多使用客戶的認可。

圖1 圖2

台階高度重現性低於 4 Å

Dektak XT 是使用single-arch 設計的探針輪廓儀， single-arch 設計及智能電子器件，大大改善了設備穩定性，進一步提高防震性能。Dektak XT在測量台階高度重複性方麵具有優異的表現，台階高度重複性可低於4Å。使用 single-arch 結構比原先的懸臂梁設計更加穩固，降低了對不利環境條件的敏感性，如聲音和震動噪音。

方便的更換探針技術讓一切變得輕鬆

對多用戶儀器而言，能快速輕鬆更換探針以適應不同應用是必要的。Dektak台階儀的轉接頭和探針通過強磁吸附進行連接，在探針更換工具的配合下，更換探針簡單、方便、易操作（圖3）。DektakXT 新的針尖自動校準，消除任何潛藏的針尖更換/校準隱患。這一技術讓其他困難並耗時的任務變得輕鬆且快速。為盡量滿足使用的要求，Bruker 提供了範圍廣泛的標準和客戶定製探針規格，包括用於深溝渠測量的高徑比針尖。

圖3

LVDT:主流的微位移傳感技術廣泛應用於航空航天等領域

作為探針式表麵輪廓儀核心的部件—傳感器，Dektak XT采用LVDT傳感器原理，即Linear Variable Differential Transformer線性可變差動變壓器（圖4），其優勢包括：無摩擦測量、延長機械壽命、提高分辨率、零位可重複性、軸向、堅固耐用、環境適應性、輸入/輸出隔離。

圖4

帶機械臂的全自動傳片台階儀

全自動型台階儀（cassette-to-cassette台階儀），將Bruker DektakXTL台階儀係統和機械傳送臂相結合（圖5），實現了全自動上下片，通過圖形識別等功能實現自動準確定位（樣品定位精度在±5微米），自動檢測，數據自動輸出和上傳，減少人工成本和人員誤差，可以實現75mm到300mm晶圓檢測全自動化。為半導體行業在工藝開發，質量保證與質量控製應用方麵進行了優化。

圖5

台階儀主要用於材料表麵的2D，3D測量，可以測試台階高度，表麵粗糙度；同時也適合材料表麵溝槽深度的測試；能夠在微電子，半導體及化合物半導體，太陽能、超高亮度發光二管（LED）、OLED、ITO、微流控、醫學、材料科學等行業實現納米級表麵形貌測量。Dektak台階儀測量薄膜材料可以達到埃級重現性和1nm-1mm的測量範圍。

圖6

圖7