晶片應用
-沉積薄膜(金屬、有機物 )的台階高度
-抗蝕劑(軟膜材料)的台階高度
-蝕刻速率測定
-化學機械拋光(腐蝕,凹陷,彎曲)

大型基板應用
-印刷電路板(凸起、台階高度 )
-窗口塗層
-晶片掩模
-晶片卡盤塗料
-拋光板

玻璃基板及顯示器應用
-AMOLED
-液晶屏研發的台階步級高度測量
-觸控麵板薄膜厚度測量
-太陽能塗層薄膜測量

柔性電子器件薄膜
-有機光電探測器
-印於薄膜和玻璃上的有機薄膜
-觸摸屏銅跡線